ギガフォトン、DUV光源新ロードマップを発表

モジュール寿命延長技術とサービス向上で、2020年までに稼働率99.8%の壁を破る

栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(ビジネスワイヤ) -- 半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 浦中克己)は、装置稼働率向上のための新ロードマップを策定、需要が高まる半導体チップメーカーのニーズに応えていく、と発表しました。


このたびギガフォトンは、 DUV光源であるエキシマレーザーの、信用性(Reliability)・可用性(Availability)・保守性(Maintainability)を強化するロードマップ “RAM Enhancement”を策定しました。業界では限界と言われている“稼働率99.8%の壁”を2020年までに打ち破る取り組みを始めています。

半導体チップの生産において、リソグラフィ工程の稼働率は、大きな影響を与えるパラメータです。そのため装置稼働率を最大化させるためには「長期的な安定稼働」と「メンテナンス時間の最小化」が必要となります。ギガフォトンはこれらの課題を解決するため、モジュールの寿命延長とフィールドエンジニアによる装置のサービス性を向上させ、可能な限り装置を停止させないメンテナンスを実現します。

まず「長期的な安定稼働」のため、最新のArF液浸リソグラフィ装置において、主要モジュールであるチャンバ(AMP CH)、狭帯域化モジュール(LNM)、モニターモジュール(MM)の寿命をそれぞれ120Bplsまで延長させる予定です。次に「メンテナンス時間の最小化」のため、装置の寿命予想やメンテナンスのタイミングを自動的に算出するソフトウェアーを投入します。
これらの取り組みにより、2020年までにはすべての顧客において、必要なメンテナンス回数を年1回に引き下げ、モジュールの交換時間を従来の半分に削減し、稼働率99.8%の壁を打ち破ることが可能となります。(メモリメーカーにおけるパルス使用量を年間60Bplsと仮定した場合)

ギガフォトン代表取締役社長の浦中克己はこうコメントしています。「近年の半導体チップ需要の高さから、半導体製造装置の稼働率はより重要性を増しています。我々が推し進めるロードマップ “RAM Enhancement”は、こうしたお客様のニーズに応えるため策定されました。ギガフォトンは今後もお客様の要望や市場の動向を考慮した、最適な解決策を提供していきます。」

ギガフォトンについて

2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。


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